半導(dǎo)體行業(yè)VOCs廢氣處理解決方案
源和小編今天為大家分享半導(dǎo)體行業(yè)VOCs廢氣處理的解決方案。
半導(dǎo)體行業(yè)中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量有機(jī)物成分。 在工藝過程中,這些有機(jī)溶劑大部分通過揮發(fā)成為廢氣排放。
目前,針對(duì)這種氣體排放,一 般采用吸附、焚燒或兩者相結(jié)合的處理方法。 吸附是利用多孔性固體吸附劑處理混合氣體,使其中所含的一種或多種組分吸附于固體 表面上,達(dá)到分離的目的。吸附劑選擇性高,能分開其他過程難以分開的混合物,有效地清 除(或回收)濃度很低的有害物質(zhì),凈化效率高,設(shè)備簡單,操作方便,且能實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。
但固體吸附劑的吸附容量小,需要大量的吸附劑,設(shè)備龐大,且吸附后吸附劑需要再生處理,是吸附處理的主要缺點(diǎn)。半導(dǎo)體生產(chǎn)場所揮發(fā)出來的有機(jī)廢氣通過局部排風(fēng)罩收集,經(jīng)管道送至吸附凈化系統(tǒng)。一般采用活性炭作為吸附劑。因?yàn)榛钚蕴渴欠菢O性吸附劑,對(duì)廢氣中水蒸氣的靈敏度不高,且價(jià)格便宜。 焚燒的方法也廣泛用于半導(dǎo)體行業(yè)的各種有機(jī)廢氣處理,通過熱氧化將有機(jī)物轉(zhuǎn)化為 CO2 和水。同時(shí),焚燒對(duì)處理穩(wěn)定流量和濃度的廢氣也是一種很好的方法。在熱氧化中,有機(jī)廢氣流經(jīng)過加熱,氣相中的有機(jī)物被氧化。為節(jié)省燃料使用,通常還使用熱交換器,回收焚燒產(chǎn)生的熱量對(duì)進(jìn)口氣體進(jìn)行預(yù)熱。對(duì)于處理大流量、低濃度的氣體,通常都要采用這種方法。 由于半導(dǎo)體行業(yè)廢氣焚燒會(huì)產(chǎn)生SiO2,且SiO2會(huì)使催化劑鈍化,因此半導(dǎo)體行業(yè)中很少采用接觸氧化的方法。
一些半導(dǎo)體生產(chǎn)廠也使用旋轉(zhuǎn)濃縮系統(tǒng)富集有機(jī)廢氣,如沸石濃縮轉(zhuǎn)輪。因?yàn)榘雽?dǎo)體工藝過程中有機(jī)廢氣具有排放流量大(通常大于 11039 m3 /小時(shí))和濃度低(通常小于 25ppmv) 的特點(diǎn),使用其它的處理技術(shù)難以達(dá)到令人滿意的處理效率。沸石濃縮轉(zhuǎn)輪使用內(nèi)帶吸收物質(zhì)的旋轉(zhuǎn)輪,其中的吸收物質(zhì)部分曝露于廢氣流中。轉(zhuǎn)輪吸收廢氣中的揮發(fā)性污染物,并使用蒸汽或熱將其脫附。脫附的氣流中富集了較高濃度的揮發(fā)物,這種低流量、高濃度的氣流能很好地被氧化。旋轉(zhuǎn)濃縮系統(tǒng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的一個(gè)缺點(diǎn)是它對(duì)甲醇親和力較差,去除率僅為 40-60%。
總而言之,廢氣處理方面,半導(dǎo)體行業(yè)酸、堿廢氣一般采用相應(yīng)的堿液吸收和酸液吸收進(jìn)行處理, 工藝方法已非常成熟,只要適當(dāng)優(yōu)化相關(guān)工藝參數(shù),能夠滿足本標(biāo)準(zhǔn)的要求,需要關(guān)注的有 機(jī)廢氣的處理。目前處理有機(jī)廢氣的工藝有吸附法、吸收法、直接燃燒法、催化燃燒法、冷凝法等,吸附法采用活性炭直接吸附,凈化效果好,但是運(yùn)營成本會(huì)很高;吸收法適合于溫度低、中高濃度的廢氣;直接燃燒法適合于高濃度、小風(fēng)量廢氣治理;冷凝法適用于成分相 對(duì)單一、濃度高、且有一定回收價(jià)值的有機(jī)廢氣。對(duì)于半導(dǎo)體行業(yè)低濃度、大風(fēng)量、成分復(fù)雜的有機(jī)廢氣,吸附法、吸收法、燃燒法、冷凝法均不適用,比較適用的是吸附——催化燃燒法。目前省內(nèi)一些大型半導(dǎo)體企業(yè)已采用沸石轉(zhuǎn)輪濃縮后燃燒,該方法適用于大風(fēng)量、低濃度、常溫的有機(jī)廢氣處理,凈化效率達(dá)到90%以上,濃縮比達(dá)20﹕1,運(yùn)行費(fèi)用較低,設(shè)備處理風(fēng)量大,占地面積小,不產(chǎn)生二次污染,可持續(xù)脫附并處理污染物。根據(jù)企業(yè)實(shí)際運(yùn) 行情況,有機(jī)廢氣進(jìn)氣濃度在200mg/m3以上時(shí),處理效率達(dá)到95%;200mg/m3以下時(shí)處理 后濃度控制在20mg/m3,可保證廢氣達(dá)標(biāo)排放。
通過小編以上的介紹,您是否對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)VOCs處理有了更深入的認(rèn)識(shí)了呢,希望能幫助到您。如您想了解更多的廢氣處理相關(guān)知識(shí),歡迎您關(guān)注源和環(huán)保。
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